Acetylenic diol ethylene oxide/propylene oxide adducts and their use in photoresist developers,申请号EP20010100222-传众专利搜索

发明名称	Acetylenic diol ethylene oxide/propylene oxide adducts and their use in photoresist developers
摘要
申请公布号	EP1115035(B1)	申请公布日期	2012.10.03
申请号	EP20010100222	申请日期	2001.01.02
申请人	AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.	发明人	LASSILA, KEVIN RODNEY;UHRIN, PAULA ANN;SCHWARTZ, JOEL
分类号	G03F7/004;G03F7/32;A01N25/02;A01N25/30;C07B61/00;C07C41/03;C07C43/178;C09D5/00;C09D5/08;C09D7/12;C09D11/00;C09D201/00;C11D1/722;H01L21/027	主分类号	G03F7/004
代理机构		代理人
主权项
地址