被检查基板的对准装置

摘要

本发明提供一种被检查基板的对准装置。该被检查基板的对准装置对大型的被检查基板可靠地进行预对准。包括：Xθ轴工件载置台，支承被检查基板能在X轴方向上移动且能绕θ轴方向旋转；YZ轴接触载置台，构成为与该Xθ轴工件载置台分别独立的构件而沿Y轴方向架设；控制部，控制上述Xθ轴工件载置台及YZ轴接触载置台。上述控制部具有这样的功能，即，基于由上述YZ轴接触载置台侧的上述Y轴预对准传感器及至少2个上述X轴预对准传感器检测出的上述被检查基板的位置信息，控制上述Xθ轴工件载置台的上述θ轴旋转机构及X轴直线运动机构而使上述工作台在X轴方向上移动并使其适当地旋转，从而对该被检查基板进行预对准。

主权项

一种被检查基板的对准机构，其特征在于，包括：Xθ轴工件载置台，在X轴方向上延伸地构成，支承被检查基板使其能在X轴方向上移动且能绕θ轴方向旋转；YZ轴接触载置台，构成为与该Xθ轴工件载置台分别独立的构件，沿Y轴方向架设在该Xθ轴工件载置台的上方，支承X轴预对准传感器及Y轴预对准传感器使该X轴预对准传感器及Y轴预对准传感器能在Y轴方向及Z轴方向上移动；控制部，控制上述Xθ轴工件载置台及YZ轴接触载置台；上述Xθ轴工件载置台包括：架台，是在X轴方向上延伸的构架；工作台，支承上述被检查基板；θ轴旋转机构，设置在该工作台的下侧面，用于使工作台旋转；X轴直线运动机构，支承于上述架台，该X轴直线运动机构支承上述θ轴旋转机构，通过该θ轴旋转机构使上述工作台在X轴方向上移动；上述YZ轴接触载置台包括：支承臂部，沿Y轴方向架设在上述Xθ轴工件载置台的上方；Y轴直线运动机构，安装在该支承臂部而位于上述Xθ轴工件载置台的上方；多个接触载置板，被该Y轴直线运动机构支承为能在Y轴方向上移动；第一X轴预对准传感器，设置于该多个接触载置板中的一个端部侧的接触载置板，用于检测上述被检查基板的X轴方向位置；第二X轴预对准传感器及Y轴预对准传感器，设置于另一个 端部侧的接触载置板，其中，该第二X轴预对准传感器用于检测上述被检查基板的X轴方向位置，该Y轴预对准传感器用于检测上述被检查基板的Y轴方向的位置；Z轴直线运动机构，设置于上述多个接触载置板，支承具有与上述被检查基板上的电极接触的探针的测头组件能在Z轴方向上移动；上述控制部具有这样的功能，即，基于由上述YZ轴接触载置台侧的上述Y轴预对准传感器及至少上述第一X轴预对准传感器和上述第二X轴预对准传感器这2个X轴预对准传感器检测出的上述被检查基板的位置信息，控制上述Xθ轴工件载置台的上述θ轴旋转机构及X轴直线运动机构而使上述工作台在X轴方向上移动并使其适当地旋转，从而对该被检查基板进行预对准。