老化测试系统

摘要

本发明公开了一种老化测试系统，包括老化测试箱、测试模块、数据处理模块及系统控制模块，其中，所述测试模块用于测试待老化测试器件的功能和/或直流和/或交流参数；所述数据处理模块用于处理由所述测试模块得到的测试数据；所述系统控制模块用于发出各种控制信号，以控制所述老化测试的完成；所述老化测试箱内具有用于放置所述待老化测试器件的至少一个适配板，通过接口将所述至少一个适配板、所述测试模块、所述数据处理模块和所述系统控制模块相连接。本发明的老化测试系统解决了现有老化测试系统中测试功能有限，以致半导体器件的筛选结果不准确的问题。

主权项

一种老化测试系统，包括老化测试箱、测试模块、数据处理模块及系统控制模块，其特征在于：所述测试模块用于测试待老化测试器件的功能和/或直流和/或交流参数；所述数据处理模块用于处理由所述测试模块得到的测试数据；所述系统控制模块用于发出各种控制信号，以控制所述老化测试的完成；所述老化测试箱内具有用于放置所述待老化测试器件的至少一个适配板，通过接口将所述至少一个适配板、所述测试模块、所述数据处理模块和所述系统控制模块相连；所述测试模块包括至少一个测试功能板，每个测试功能板与多种待老化测试器件相对应，每个适配板至少与所述测试功能板中的一个相对应，所述测试功能板、所述数据处理模块和所述系统控制模块均放置于老化测试系统的常温区；其中，当同一适配板上连接多个同种待老化测试器件，且各所述多个同种待老化测试器件的片选管脚分别连接到不同的I/O通道，其它管脚一对一连接时，利用片选信号分别检测各所述多个同种待老化测试器件的功能和/或直流和/或交流参数，判断各所述多个同种待老化测试器件的好坏；或当同一适配板上连接多个同种待老化测试器件，且各所述多个同种待老化测试器件没有片选信号，其它管脚对应连接时，在老化过程中判断同种待老化测试器件性能的好与坏。