显示装置及其微机电阵列基板

摘要

本发明是有关于一种显示装置及其微机电阵列基板，该微机电阵列基板，其包括基板、第一信号线、第二信号线、微机电开关以及像素电极。第一信号线与第二信号线分别彼此平行地配置于基板上，且第二信号线与第一信号线相交错而在该基板上围出像素区域。微机电开关分别配置于第一信号线与第二信号线的交错处。像素电极分别配置于对应的像素区域中，并与对应的微机电开关电性连接。由于微机电开关不像薄膜晶体管会受载子迁移率和开关电流比的影响，因此可提升显示装置的显示性能。此外，本发明还提供一种使用上述微机电阵列基板的显示装置。

主权项

一种微机电阵列基板，其特征在于其包括：一基板；多条第一信号线，彼此平行地配置于该基板上；多条第二信号线，彼此平行地配置于该基板上，且各该第二信号线是与所述第一信号线交错而在该基板上围出多个像素区域；多个微机电开关，分别配置于所述第一信号线与所述第二信号线的交错处，各该微机电开关包括第一金属层、绝缘层、第二金属层和第三金属层，该第一金属层配置于该基板上并电性连接至对应的该第一信号线，该绝缘层配置于该第一金属层上，该第二金属层配置于该绝缘层上，该第三金属层配置于该第二金属层上方且电性连接至对应的该第二信号线，该第三金属层与该第二金属层之间形成一绝缘空腔；以及多个像素电极，分别配置于对应的所述像素区域其中之一，并与对应的该微机电开关的该第二金属层电性连接。