PECVD载板导轨

摘要

本发明涉及一种用于光伏行业的PECVD载板导轨，包括长方体形状的导轨本体，所述导轨本体的材料为不锈钢，直接固定在载板上，所述导轨本体沿长度方向的上下两个平面上开有贯穿的多个螺丝孔，所述导轨本体沿长度方向的左右两个侧面上开有多个凹槽。本发明直接固定在载板上，为一体式导轨，提高了导轨本身的精度与导轨的安装精度；导轨材料采用不锈钢，大幅提高了寿命和导轨的维护成本；导轨两侧面加工的凹槽可降低导轨的重量。

主权项

一种PECVD载板导轨，包括长方体形状的导轨本体（4），其特征是：所述导轨本体（4）的材料为不锈钢，直接固定在载板（1）上，所述导轨本体（4）沿长度方向的上下两个平面上开有贯穿的多个螺丝孔（5），所述导轨本体（4）沿长度方向的左右两个侧面上开有多个凹槽（6）。