平台台面的平面度测量装置及测量方法

摘要

本发明提出一种平台台面的平面度测量装置与测量方法，包括XY二维运动平台系统、Z轴运动系统和Z轴加工头，Z轴加工头上设置有一套测量头，该测量头包括测量杆、固定座和感应器，感应器固定于固定座上，测量杆设置于固定座中并可上下移动。主要方法为Z轴运动系统带动测量头向下移动，测量杆接触平台台面某一测量点后，与感应器发生相对运动，最终触发感应器，控制系统读取此时Z轴伺服电机编码器位置信号，如此反复，记录多点的位置信号，如此即可计算出台面各点的高度差，最终计算出平面度。该测量装置简单、成本低，方法快速、易操作。

主权项

一种平台台面的平面度测量装置，包括XY二维运动平台系统、Z轴运动系统和Z轴加工头，其特征在于：所述的Z轴加工头上设置有一套测量头，该测量头包括测量杆、固定座和感应器，感应器固定于固定座上，测量杆设置于固定座中并可自由上下移动。