一种钨平面靶的制作工艺

摘要

一种钨平面靶的制作工艺，制作步骤如下：将原料装入橡胶模套内，制备成实心的粉质钨板坯，然后采用冷等静压机成型，压力为300-400Mpa，8分钟后固体板坯成型；将成型后的固体板坯放入中频烧结炉中，炉内通入氢气，加热温度为2300℃，加热时间为28个小时，后采用水循环降温10小时，后冷却至室温止，成型坯体备用；将处理后的成型板坯加热到1500℃，加热时间为2小时，取出后经热轧机轧制成形，备用；将处理后的板坯进行机械加工，钨平面靶制作完成。本方法制作工艺简单，对设备要求不高，因此投入成本较低，制备出的靶材致密性较好，相对密度达到99%以上。

主权项

一种钨平面靶的制作工艺，其特征在于：采用钨粉为原料，钨粉的纯度≥99.98%，粒度在2.4—3.2μm，制作步骤如下：步骤一、将原料装入橡胶模套内，制备成实心的粉质钨板坯，然后采用冷等静压机成型，压力为300—400Mpa，8分钟后固体板坯成型；步骤二、将成型后的固体板坯放入中频烧结炉中，炉内通入氢气，加热温度为2300℃，加热时间为28个小时，后采用水循环降温10小时，后冷却至室温止，成型坯体备用；步骤三、将步骤二处理后的成型板坯加热到1500℃，加热时间为2小时，取出后经热轧机轧制成形，备用；步骤四、将步骤三处理后的板坯进行机械加工，使表面粗糙度达到Ra1.6~Ra3.2µm，钨平面靶制作完成。