| 发明名称 | 输送起伏式的化学浴沉积设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种输送起伏式的化学浴沉积设备，一种输送起伏式的化学浴沉积设备，其特征在于，包含有：一浴槽，用以盛放有一溶液；以及一传送单元，具有多个输送滚轮，设置于该浴槽中用以传送一药液盒，其中，该多个输送滚轮以高低起伏的排列方式而配置其主要用于在制作太阳能电池的基板上沉积至少一层薄膜，其中本实用新型的化学浴沉积设备利用高低起伏的基板传送方式，使药液可均匀地扩散并覆盖于基板的各处上，以使薄膜可以全面且均匀地于成长于基板上，进而提升薄膜厚度的均一性。 | ||
| 申请公布号 | CN202465875U | 申请公布日期 | 2012.10.03 |
| 申请号 | CN201120359364.0 | 申请日期 | 2011.09.23 |
| 申请人 | 亚智科技股份有限公司 | 发明人 | 游柏清;蓝受龙;李玟澄 |
| 分类号 | C23C18/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C18/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人 | 刘俊 |
| 主权项 | 一种输送起伏式的化学浴沉积设备，其特征在于，包含有：一浴槽，用以盛放有一溶液；以及一传送单元，具有多个输送滚轮，设置于该浴槽中用以传送一药液盒，其中，该多个输送滚轮以高低起伏的排列方式而配置。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园县 | ||