| 发明名称 | 分割溅镀靶及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明的分割溅镀靶及其制造方法，其提供如下技术：在将多个靶构件接合而得到的分割溅镀靶中，可通过溅镀而有效地防止支承板(backing plate)的构成材料混入成膜的薄膜中。本发明涉及一种分割溅镀靶，为在支承板上，将多个靶构件通过低熔点焊料接合而形成的分割溅镀靶，其特征为沿着接合的靶构件间所形成的间隙，在支承板上设置保护体。 | ||
| 申请公布号 | CN102712997A | 申请公布日期 | 2012.10.03 |
| 申请号 | CN201180005295.6 | 申请日期 | 2011.07.13 |
| 申请人 | 三井金属矿业株式会社 | 发明人 | 久保田高史;渡边广幸 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;H01L21/363(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人 | 程伟;王锦阳 |
| 主权项 | 一种分割溅镀靶，为在支承板上将多个靶构件通过低熔点焊料接合而形成者，其特征在于，沿着接合的靶构件间所形成的间隙，在支承板上设置保护体。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||