发明名称
摘要
申请公布号 JP5039132(B2) 申请公布日期 2012.10.03
申请号 JP20090512191 申请日期 2007.03.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/318;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/532;H01L29/78 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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