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发明名称
摘要
申请公布号
JP5039132(B2)
申请公布日期
2012.10.03
申请号
JP20090512191
申请日期
2007.03.06
申请人
发明人
分类号
H01L21/318;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/532;H01L29/78
主分类号
H01L21/318
代理机构
代理人
主权项
地址
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