具有带图案的机械层的干涉式像素

摘要

本发明揭示机电调制器及其制造方法。在一项实施例中，显示器包括具有薄膜层的子像素，该薄膜层中形成空隙。该空隙可经配置以增加所述薄膜层的挠性。该子像素还可包括经配置以向观看者隐藏该空隙的光学掩模。在另一实施例中，显示器可包括至少两个可移动反射器，其中每一可移动反射器具有不同刚度，但每一可移动反射器具有实质上相同的有效热膨胀系数。

主权项

一种显示器，它包含：衬底，其具有热膨胀特性系数；光学掩模，其安置于所述衬底上；吸收体，其安置于所述衬底上；第一子像素，其包含：第一可移动反射器，其经配置以在将电压施加至所述第一可移动反射器时在未激活位置与激活位置之间沿实质上垂直于所述衬底的方向移动，所述第一可移动反射器具有与所述衬底的所述热膨胀特性系数实质上相同的有效热膨胀特性系数，所述第一可移动反射器包含：第一反射层，第一导电层，以及第一薄膜层，其至少部分地安置于所述第一反射层与所述第一导电层之间，第一电极，其经配置以将电压施加至所述第一可移动反射器，以及第一空腔，其由所述第一可移动反射器的表面及所述吸收体的表面界定；及第二子像素，其包含：第二可移动反射器，其经配置以在将电压施加至所述第二可移动反射器时在未激活位置与激活位置之间沿实质上垂直于所述衬底的方向移动，所述第二可移动反射器具有与所述衬底的所述热膨胀特性系数实质上相同的有效热膨胀特性系数，所述第二可移动反射器包含：第二反射层，第二导电层，以及第二薄膜层，其至少部分地安置于所述第二反射层与所述第二导电层之间，所述第二薄膜层包含至少一个空隙，其特征在于，所述空隙经配置以增加所述第二薄膜层的挠性，所述光学掩模的至少一个部分安置于所述至少一个空隙与所述衬底之间，第二电极，其经配置以将电压施加至所述第二可移动反射器，以及第二空腔，其由所述第二可移动反射器的表面及所述吸收体的表面界定。