| 发明名称 | 环境敏感器件 | ||
| 摘要 | 一种环境敏感器件（10，10’，10’’）被公开。所述器件（10，10’，10’’）包括：基板；建立在所述基板上的三维结构（24，24’，24’’）；建立在所述三维结构（24，24’，24’’）的第一部分（P1）上的第一涂层（28）；以及建立在所述三维结构（24，24’，24’’）的第二部分（P2）上的第二涂层（30）。所述第一和第二涂层（28，30）包含被配置成在被暴露于预定外部刺激时做出不同响应的不同材料。 | ||
| 申请公布号 | CN102712466A | 申请公布日期 | 2012.10.03 |
| 申请号 | CN201080062528.1 | 申请日期 | 2010.01.29 |
| 申请人 | 惠普发展公司，有限责任合伙企业 | 发明人 | F.S.区;Z.李;H.P.扩;M.胡 |
| 分类号 | B82B3/00(2006.01)I;G01N21/65(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | B82B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 马永利;李家麟 |
| 主权项 | 一种环境敏感器件（10，10’，10’’），包括：基板（14）；建立在所述基板（14）上的三维结构（24，24’，24’’）；建立在所述三维结构（24，24’，24’’）的第一部分（P1）上的第一涂层（28）；以及建立在所述三维结构（24，24’，24’’）的第二部分（P2）上的第二涂层（30），所述第一和第二涂层（28，30）是被配置成在被暴露于预定外部刺激时做出不同响应的不同材料。 | ||
| 地址 | 美国德克萨斯州 | ||