发明名称 | 用于夹持基板的设备 | ||
摘要 | 本发明提供一种用于夹持基板的设备,更具体地说,提供这样一种用于夹持基板的设备,该设备允许利用基于四连杆机构的引导装置使基板的顶部完全紧密地接触夹持盖。所述基板夹持设备包括:夹持板,通过执行上下往复运动来夹持或者松开基板;基于四连杆的引导装置,该引导装置在保持夹持板水平的同时使夹持板往复运动预定的位移。 | ||
申请公布号 | CN102699842A | 申请公布日期 | 2012.10.03 |
申请号 | CN201110225578.3 | 申请日期 | 2011.08.02 |
申请人 | 三星泰科威株式会社 | 发明人 | 潘钟亿 |
分类号 | B25B11/00(2006.01)I | 主分类号 | B25B11/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人 | 韩明星;刘奕晴 |
主权项 | 一种用于夹持基板的设备,所述设备包括:夹持板,通过执行上下往复运动来夹持或者松开基板;基于四连杆的引导装置,该引导装置在保持夹持板水平的同时使夹持板往复运动预定的位移。 | ||
地址 | 韩国庆尚南道昌原市 |