发明名称 多晶硅二极管的串联结构
摘要 本发明公开了一种多晶硅二极管的串联结构,在版图上相邻两个多晶硅二极管交界处的N型多晶硅和P型多晶硅之上形成多个接触孔引出金属线,所述各接触孔同时位于版图上相邻两个多晶硅二极管交界处的N型多晶硅和P型多晶硅之上,并且所述接触孔上覆盖着第一层金属同所述接触孔引出金属线连接。本发明的多晶硅二极管的串联结构,能在较小版图占用的情况下实现高的静电电流泄放可靠性。
申请公布号 CN102130121B 申请公布日期 2012.10.03
申请号 CN201010027315.7 申请日期 2010.01.20
申请人 上海华虹NEC电子有限公司 发明人 高翔;苏庆
分类号 H01L27/08(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H01L23/60(2006.01)I 主分类号 H01L27/08(2006.01)I
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人 王江富
主权项 一种多晶硅二极管的串联结构,其特征在于,在版图上相邻两个多晶硅二极管交界处的N型多晶硅和P型多晶硅之上形成多个接触孔引出金属线,所述各接触孔同时位于版图上相邻两个多晶硅二极管交界处的N型多晶硅和P型多晶硅之上,并且所述接触孔上覆盖着第一层金属同所述接触孔引出金属线连接。
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