发明名称
摘要
申请公布号 JP5039343(B2) 申请公布日期 2012.10.03
申请号 JP20060243833 申请日期 2006.09.08
申请人 发明人
分类号 H01S5/343;H01L21/205;H01S5/183 主分类号 H01S5/343
代理机构 代理人
主权项
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