| 发明名称 | 装载锁止室、衬底处理系统和通风方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了用于衬底处理系统的锁止室，其至少包括适合于提供锁止室的内部部分与大气压或超压的流体连通的第一管道。此外，锁止室至少包括用于控制室的内部部分与大气压或超压的流体连通的流率的第一控制阀，其中，控制阀适合于连续地控制流率。此外，提供了相应方法、计算机程序和适合于执行方法的计算机可读介质。 | ||
| 申请公布号 | CN102714168A | 申请公布日期 | 2012.10.03 |
| 申请号 | CN201180005159.7 | 申请日期 | 2011.10.12 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 托马斯·格贝尔;托马斯·莱普尼茨;沃夫冈·布斯史贝克;斯特凡·班格尔特;拉尔夫·林德伯格 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 一种用于衬底处理系统(100)的锁止室(10)，其包括：至少第一管道(18、28、58、59)，其适合于提供所述锁止室的内部部分(12)与大气压或超压的流体连通；至少第一控制阀(15、16、55)，其用于控制所述室的内部部分与大气压或超压的流体连通的流率，所述控制阀适合于连续地控制流率；以及控制器(30)，其适合于计算经优化的流率和/或适合于从数据库读取所存储的流率信息。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||