利用结构化的玻璃涂层制作衍射光学元件

摘要

本发明涉及光学元件，尤其涉及一种施加光活性结构化到基片上的方法，以及利用这种类型方法制作的组件。尤其是，施加光活性结构化到基片上的方法包括：光刻技术和借助于物理汽相沉积过程的材料沉积。

主权项

一种用于施加光活性结构化到基片上的方法，包括利用光刻掩模的结构化，其特征在于多次重复以下步骤：利用光敏抗蚀层涂敷基片，光刻结构化施加的层，借助于物理汽相沉积，利用光活性层涂敷预结构化的基片，该光活性层包含选自由玻璃和金属构成的组中的至少一种材料，和去掉抗蚀层。