氟气生成装置

摘要

本发明的氟气生成装置具备在氟气生成装置紧急停止时起动的紧急停止设备，紧急停止设备具备：替代气体供给设备，其代替随着氟气生成装置的紧急停止所伴随的驱动源的丧失而夹带气体截止阀关闭所导致的被切断的夹带气体，能够将精制装置的冷却介质作为替代气体供给；替代夹带气体截止阀，其切换替代气体向氟化氢供给通路中的供给和切断；以及紧急停止用计测气体供给设备，其具有计测气体截止阀，所述计测气体截止阀随着氟气生成装置紧急停止所伴随的驱动源的丧失而打开，从而可供给计测气体；氟气生成装置紧急停止时，接受计测气体的供给，替代夹带气体截止阀打开，替代气体供给到氟化氢供给通路。

主权项

一种氟气生成装置，其特征在于，其通过将熔融盐中的氟化氢电解，从而生成氟气，该装置具备：电解槽，其在熔融盐液面上隔离、划分为第1气室和第2气室，在浸渍于熔融盐中的阳极处生成的以氟气为主成分的主产气体被导入所述第1气室，在浸渍于熔融盐中的阴极处生成的以氢气为主成分的副产气体被导入所述第2气室；和精制装置，其使用冷却介质使从所述电解槽的熔融盐中气化而混入到由所述阳极处生成的主产气体中的氟化氢气体凝固并捕集，从而精制氟气；和氟化氢供给通路，其用于将氟化氢供给源的氟化氢补充到所述电解槽中；和夹带气体供给源，其将夹带气体供给到所述氟化氢供给通路，所述夹带气体用于将所述氟化氢供给源的氟化氢导入至所述电解槽中；和夹带气体截止阀，其切换所述夹带气体供给源的夹带气体的供给与切断；和紧急停止设备，其在所述氟气生成装置紧急停止时起动，所述紧急停止设备具备：替代气体供给设备，其代替随着所述氟气生成装置紧急停止所伴随的驱动源的丧失而所述夹带气体截止阀关闭所导致的被切断的夹带气体，能够将在所述精制装置中用于凝固氟化氢气体而使用的冷却介质作为替代气体供给；和替代气体截止阀，其切换所述替代气体供给设备的替代气体向所述氟化氢供给通路中的供给和切断；和紧急停止用计测气体供给设备，其具有计测气体截止阀，所述计测气体截止阀随着所述氟气生成装置紧急停止所伴随的驱动源的丧失而打开，从而可供给计测气体，所述氟气生成装置紧急停止时，接受所述紧急停止用计测气体供给设备的计测气体的供给，所述替代气体截止阀打开，所述替代气体供给设备的替代气体供给到所述氟化氢供给通路。