一种金属电感的制备方法

摘要

本发明公开了一种金属电感的制备方法，属于无线通讯器件领域。该方法利用石墨烯独特的晶体结构和物理特性，通过在电感线圈的金属上包裹一层石墨烯，提高了线圈的抗电迁移能力以及寿命，减少整体铜互连线因电迁移现象所致的性能退化，避免金属电感在制备及使用过程中被氧化。同时因石墨烯具有优良的热传导性能，缓解了电感线圈因局部温度过高而发生的熔断或者是介质击穿的现象。

主权项

一种金属电感的制备方法，制备工艺如下：1)制备电感的下层金属连线；2)下层金属连线上面淀积绝缘介质层，并且同时刻蚀形成通孔，用以将电感内端口连出；3)在通孔和介质层表面淀积一层扩散阻挡层和金属的种籽层，制备金属电感线圈；4)在上述金属电感线圈表面原位生长石墨烯材料层。