自旋阀GMR薄膜结构、具有其的生物传感器及制作方法

摘要

本发明提出一种自旋阀巨磁电阻GMR薄膜结构，包括：衬底；形成在所述衬底之上的缓冲层；依次形成在所述缓冲层之上的复合自由层；形成在所述复合自由层之上的隔离层，所述隔离层为非磁材料；形成在所述隔离层之上的被钉扎层；形成在所述被钉扎层之上的钉扎层；形成在所述钉扎层之上的覆盖层。本发明具有高磁阻率，很好的矫顽力，提高了对生物分子浓度的检测极限，并且可以批量生产应用。本发明还提出一种生物传感器及其制作方法、多通道扫描电路检测系统以及生物检测方法。

主权项

一种自旋阀巨磁电阻GMR薄膜结构，其特征在于，包括：衬底；形成在所述衬底之上的缓冲层；依次形成在所述缓冲层之上的复合自由层；形成在所述复合自由层之上的隔离层，所述隔离层为非磁材料；形成在所述隔离层之上的被钉扎层；形成在所述被钉扎层之上的钉扎层；以及形成在所述钉扎层之上的覆盖层。