用于磁介质的批处理的系统

摘要

提供用于同时处理多个基板的方法与设备。每个基板可具有将被处理的两个主活性表面。设备具有基板搬运模块与基板处理模块。基板搬运模块具有负载组件、翻转组件与工厂接口。基板在负载组件处设置在基板载具上。翻转组件是用来在需要两侧处理的情况下翻转基板载具上的所有基板。工厂接口定位固持基板的基板载具以进出基板处理模块。基板处理模块包括负载锁定器、传送腔室与多个处理腔室，多个处理腔室的每一个配置为处理设置在基板载具上的多个基板。

主权项

一种用于处理磁介质的系统，所述系统包括基板搬运模块，所述基板搬运模块包括：基板载具，所述基板载具具有多个基板支撑位置；负载组件，所述负载组件配置为将基板定位在所述基板载具的每个基板支撑位置上；翻转组件，所述翻转组件配置为从所述基板载具取回所述基板，将所述基板翻转，并将所述基板重新放置在所述基板载具上；以及工厂接口，所述工厂接口耦接至所述负载组件与所述翻转组件。