低功耗主动式磁悬浮隔振平台

摘要

低功耗主动式磁悬浮隔振平台，涉及隔振技术领域。本发明解决了现有隔振平台存在固定频率的缺点。本发明由动基板、定基板、三个或四个Z向承重与调整单元，Z向承重与调整单元主要由Z向承重单元与Z向调整单元构成。Z向承重单元主要由动子部件和定子部件构成；Z向调整单元主要由正弹性系数调整单元和负弹性系数调整单元构成。Z向承重单元与Z向调整单元并联。本发明还可以包括X向调整单元或Y向调整单元、X向调整单元和Y向调整单元。本发明容易构成重载荷磁悬浮隔振平台，且结构简单、隔振精度高、控制容易、功率损耗低，可适用真空环境。

主权项

低功耗主动式磁悬浮隔振平台，其特征在于，它包括动基板、定基板、三个或四个隔振元件，所述三个或四个隔振元件位于动基板和定基板之间，所述三个或四个元件组成的三边形或四边形的中心与动基板的中心连线垂直于动基板所在平面，每个隔振元件的动子与动基板的下表面固定连接，每个隔振元件的定子与定基板的上表面固定连接，动基板与定基板所在平面相互平行。