| 发明名称 | 用于检查基板的表面的测量装置和测量方法 | ||
| 摘要 | 提出一种用于检查基板(140)的表面(141)的测量装置(100)。测量装置(100)具有保持元件(110)和空气支承的元件(120，220)，该空气支承的元件安装在保持元件(110)上，并且这样构造，使得它可以与要检查的基板(140)的表面(141)一起构成空气支承，并且所述空气支承的元件具有弹性，从而空气支承的元件(120，220)可以匹配表面(141)的不平度。测量装置(110)此外具有至少一个传感器(130，230)，其安装在空气支承的元件(120，220)上，并且设置用于检测基板(140)的表面(141)。由于空气支承的元件(120，220)的弹性，所述至少一个传感器(130，230)即使在要检测的表面(141)具有波浪度的情况下也能够以到表面(141)的预定的测量距离运动。此外描述了一种用于表面检查的测量方法，其中所述的测量装置(100)相对表面(141)移动。 | ||
| 申请公布号 | CN101432628B | 申请公布日期 | 2012.10.03 |
| 申请号 | CN200780015618.3 | 申请日期 | 2007.11.06 |
| 申请人 | 西门子公司 | 发明人 | H·克劳斯曼;K·克拉格勒;M·纽瑟 |
| 分类号 | G01R1/07(2006.01)I;G01R31/302(2006.01)I;G09G3/00(2006.01)I | 主分类号 | G01R1/07(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 曹若;梁冰 |
| 主权项 | 用于检查基板(140)的表面(141)的测量装置，该测量装置具有：●保持元件(110)●空气支承的元件(120，220)，该空气支承的元件安装在所述保持元件(110)上，并且所述空气支承的元件(120，220)这样构造，使得该空气支承的元件能够与要检查的基板(140)的表面(141)一起构成空气支承，并且所述空气支承的元件(120，220)具有弹性，从而该空气支承的元件(120，220)能够匹配表面(141)的不平度，●至少一个传感器(130，230)，该传感器安装在所述空气支承的元件(120，220)上，并且该传感器设置用于检测基板(140)的表面(141)。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||