发明名称 使用工艺气的共形屏蔽工艺
摘要 在一个实施例中,在衬底上形成具有针对两个或两个以上模块的电路的元模块,其中所述衬底优选地为层压衬底。所述不同模块的电路最初被形成在单个元模块上。每个模块都将具有一个或多个其中形成有电路的部件区域。针对每个将被屏蔽的部件,在该衬底上或者在该衬底中形成金属结构。然后,单个本体、比如包覆成型本体被形成在该元模块上的所有模块上之上。然后,通过切割、钻孔等等操作使每个将被屏蔽的部件区域的金属结构的至少一部分穿过该本体而暴露。接着,电磁屏蔽材料被应用于每个将被屏蔽的部件区域的本体的外表面,并且接触所述金属结构的暴露部分。
申请公布号 CN101803017B 申请公布日期 2012.10.03
申请号 CN200880104171.1 申请日期 2008.06.25
申请人 射频小型装置公司 发明人 D·J·利希;W·R·小沃伦;S·帕克
分类号 H01L23/552(2006.01)I 主分类号 H01L23/552(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 李娜;蒋骏
主权项 一种用于制造模块的方法,包括:●提供电子元模块,所述电子元模块包括:衬底、该衬底的表面上的用于多个模块的多个部件区域、以及覆盖所述多个部件区域的介电材料构成的本体,其中所述多个部件区域的某些部件区域与被该本体所覆盖的金属结构相关联;●使与所述某些部件区域相关联的金属结构的至少一部分穿过该本体而暴露以提供多个暴露的金属结构;●使该本体的外表面暴露于反应工艺气以清洗该本体的外表面;以及●将电磁屏蔽材料应用在所述某些部件区域的每个的本体的外表面的至少一部分之上以及所述多个暴露的金属结构上以在所述某些部件区域之上形成电磁屏蔽物。
地址 美国北卡罗来纳州