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摘要
A sensor chip of an electrical signal detection type, comprises a semiconductor sensing device, the sensor chip being detachable with respect to an inspection device.
申请公布号
JP5040409(B2)
申请公布日期
2012.10.03
申请号
JP20070104665
申请日期
2007.04.12
申请人
发明人
分类号
G01M99/00;G01N27/414
主分类号
G01M99/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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