利用热应力化学腐蚀分离蓝宝石和氮化镓基外延层的方法

摘要

一种利用热应力化学腐蚀分离蓝宝石和氮化镓基外延层的方法，包括：选择一外延结构，该外延结构包括蓝宝石衬底和氮化镓基外延层；在氮化镓基外延层上沉积金属层；将外延结构和金属层转移到衬底上，外延结构、金属层和衬底组成外延片；用机械研磨方法，将蓝宝石衬底抛光研磨减薄；将蓝宝石衬底划出沟槽，该沟槽的深度与蓝宝石衬底的厚度相同；将外延片沉浸于溶液99中，加热腐蚀，将蓝宝石衬底剥离，完成制备。该方法是通过将样品放入高温溶液中腐蚀。不同材料之间的热膨胀系数的不同会导致界面存在热应力，界面的氮化镓为氮极性面比较容易被腐蚀，垂直界面方向的热应力分力剥离应力会加速对界面材料的腐蚀，从而可以较便捷地分离蓝宝石和氮化镓外延层。

主权项

一种利用热应力化学腐蚀分离蓝宝石和氮化镓基外延层的方法，包括：步骤1：选择一外延结构，该外延结构包括蓝宝石衬底和氮化镓基外延层；步骤2：在氮化镓基外延层上沉积金属层；步骤3：将外延结构和金属层转移到衬底上，外延结构、金属层和衬底组成外延片；步骤4：用机械研磨方法，将蓝宝石衬底抛光研磨减薄；步骤5：将蓝宝石衬底划出沟槽，该沟槽的深度与蓝宝石衬底的厚度相同；步骤6：将外延片沉浸于溶液99中，加热腐蚀，将蓝宝石衬底剥离，完成制备。