功能元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种功能元件及其制造方法。该功能元件是在基板上形成层积膜后、将该基板和层积膜分割为所希望的形状而得到的，具有：六方晶系的基板、形成于所述基板的C面上的层积膜、通过将基板分割为四边形而露出的多个分割面，将基板分割为四边形时的分割线的至少一边从基板的[0001]方向观察，与基板的[1-100]、[-1010]、[01-10]的等效方向中的任一方向垂直，并且由分割线所形成的分割面的至少一部分与相对的其他分割面方向倾斜。

主权项

一种功能元件，是在六方晶系的基板表面上层积半导体层而形成的，其特征在于，所述功能元件具有至少形成上表面形状中相对的两个边的边界；在从所述边界偏离Xsμm的所述基板表面的位置离开Yd μm的位置形成易分割部，其中Yd=Xs·TAN（θ），θ≠0；具有包括所述易分割部且至少一部分倾斜的分割面；沿所述功能元件的上表面中所述相对的两个边的元件分离部的宽度为相同程度。