发明名称 |
一种多孔硅微米管及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种多孔硅微米管及其制备方法,其结构的主要成分是多孔硅,多孔硅微米管为多孔硅围成的非封闭圆形管状结构,其直径在10-20微米,其长度为100-600微米。本发明通过合适的制备条件制备高孔度多孔硅层,通过特殊干燥工艺,利用多孔硅中的应力不均匀特性,通过自断裂和自弯曲过程获得一种多孔硅微米管结构。由于多孔硅具有独特的结构特点,一旦形成管状结构将会有更大的比表面积,以及良好的力学性能和可操作性,在物理电子学和光学、生物医学和化学、材料学和微电机系统等众多领域具有巨大的潜在应用价值。 |
申请公布号 |
CN102701135A |
申请公布日期 |
2012.10.03 |
申请号 |
CN201210161046.2 |
申请日期 |
2012.05.17 |
申请人 |
华东师范大学 |
发明人 |
徐少辉;王连卫 |
分类号 |
B81B1/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I |
主分类号 |
B81B1/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 |
代理人 |
吴泽群 |
主权项 |
一种多孔硅微米管,其特征在于:结构的主要成分是多孔硅,多孔硅微米管为多孔硅围成的非封闭圆形管状结构,其直径在10‑20微米,其长度为100‑600微米。 |
地址 |
200062 上海市普陀区中山北路3663号 |