发明名称 一种多孔硅微米管及其制备方法
摘要 本发明公开了一种多孔硅微米管及其制备方法,其结构的主要成分是多孔硅,多孔硅微米管为多孔硅围成的非封闭圆形管状结构,其直径在10-20微米,其长度为100-600微米。本发明通过合适的制备条件制备高孔度多孔硅层,通过特殊干燥工艺,利用多孔硅中的应力不均匀特性,通过自断裂和自弯曲过程获得一种多孔硅微米管结构。由于多孔硅具有独特的结构特点,一旦形成管状结构将会有更大的比表面积,以及良好的力学性能和可操作性,在物理电子学和光学、生物医学和化学、材料学和微电机系统等众多领域具有巨大的潜在应用价值。
申请公布号 CN102701135A 申请公布日期 2012.10.03
申请号 CN201210161046.2 申请日期 2012.05.17
申请人 华东师范大学 发明人 徐少辉;王连卫
分类号 B81B1/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 主分类号 B81B1/00(2006.01)I
代理机构 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 代理人 吴泽群
主权项 一种多孔硅微米管,其特征在于:结构的主要成分是多孔硅,多孔硅微米管为多孔硅围成的非封闭圆形管状结构,其直径在10‑20微米,其长度为100‑600微米。
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