发明名称 一种真空镀膜装置的传动滚轴
摘要 本实用新型公开一种连续真空镀膜装置的传动滚轴,该传动滚轴是在二根平行的支架之间,通过滚珠轴承,均匀连接有多根被动滚轴,另外还连接有一根主动滚轴,主动滚轴通过齿轮或链条与被动滚轴连接,主动滚轴通过伞齿轮与一纵向的真空贯穿器连接,真空贯穿器与一电动机连接,真空贯穿器与真空镀膜腔体连接。本实用新型的优点是,结构简单,负载大,成本低,传送被镀件方便,速度可调,容易控制。
申请公布号 CN202465862U 申请公布日期 2012.10.03
申请号 CN201220026583.1 申请日期 2012.01.20
申请人 纳峰真空镀膜(上海)有限公司 发明人 史旭
分类号 C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I 主分类号 C23C14/56(2006.01)I
代理机构 上海东亚专利商标代理有限公司 31208 代理人 罗习群;刘莹
主权项 一种真空镀膜装置的传动滚轴,其特征在于,在二根平行的支架之间,通过滚珠轴承,均匀连接有多根被动滚轴,另外还连接有一根主动滚轴,主动滚轴通过齿轮或链条与被动滚轴连接,主动滚轴通过伞齿轮与一纵向的真空贯穿器连接,真空贯穿器与一电动机连接,真空贯穿器与真空镀膜腔体连接。
地址 201700 上海市青浦区青浦工业园区华纺路99弄99号2幢1层A区