发明名称 |
一种真空镀膜装置的传动滚轴 |
摘要 |
本实用新型公开一种连续真空镀膜装置的传动滚轴,该传动滚轴是在二根平行的支架之间,通过滚珠轴承,均匀连接有多根被动滚轴,另外还连接有一根主动滚轴,主动滚轴通过齿轮或链条与被动滚轴连接,主动滚轴通过伞齿轮与一纵向的真空贯穿器连接,真空贯穿器与一电动机连接,真空贯穿器与真空镀膜腔体连接。本实用新型的优点是,结构简单,负载大,成本低,传送被镀件方便,速度可调,容易控制。 |
申请公布号 |
CN202465862U |
申请公布日期 |
2012.10.03 |
申请号 |
CN201220026583.1 |
申请日期 |
2012.01.20 |
申请人 |
纳峰真空镀膜(上海)有限公司 |
发明人 |
史旭 |
分类号 |
C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/56(2006.01)I |
代理机构 |
上海东亚专利商标代理有限公司 31208 |
代理人 |
罗习群;刘莹 |
主权项 |
一种真空镀膜装置的传动滚轴,其特征在于,在二根平行的支架之间,通过滚珠轴承,均匀连接有多根被动滚轴,另外还连接有一根主动滚轴,主动滚轴通过齿轮或链条与被动滚轴连接,主动滚轴通过伞齿轮与一纵向的真空贯穿器连接,真空贯穿器与一电动机连接,真空贯穿器与真空镀膜腔体连接。 |
地址 |
201700 上海市青浦区青浦工业园区华纺路99弄99号2幢1层A区 |