发明名称 硅片预清洗方法
摘要 本发明涉及一种硅片预清洗方法,其特征在于,对切割后的硅片首先进行浸泡处理,浸泡结束后进行喷淋。上述硅片预清洗方法,对切割后硅片上大部分砂浆实现浸泡脱离处理,收集浸泡产生的砂浆水,以便在砂浆回收企业对浸泡过的砂浆水进行二次回收再利用,提高了砂浆回收利用率,同时降低了污水处理费用,达到环保的目的。
申请公布号 CN102698989A 申请公布日期 2012.10.03
申请号 CN201210190813.2 申请日期 2012.06.11
申请人 协鑫阿特斯(苏州)光伏科技有限公司 发明人 陈志军
分类号 B08B7/04(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;B08B3/04(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 主分类号 B08B7/04(2006.01)I
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人 何平
主权项 一种硅片预清洗方法,其特征在于,对切割后的硅片首先进行浸泡处理,浸泡结束后进行喷淋。
地址 215153 江苏省苏州市苏州高新技术产业开发区昆仑山路68号