处理系统

摘要

本发明的处理系统具备小空间（31）、小空间（31）所具备的、安装有用于收纳被处理体的盒（F）的装载部（32）、和配置在小空间（31）内的搬送装置（34）。上述搬送装置（34）还具备多关节臂（37）、安装在多关节臂（37）前端的拾取器（38）、和设置于该拾取器（38）的映射传感器（61）。所述小空间（31）还具备暂时退避部（62），在进行盒（F）内的映射时，在设置有映射传感器（61）的拾取器（38）上存在被处理体W的情况下，使该被处理体W暂时退避。

主权项

一种处理系统，其特征在于，包括：能够将内部调压至大气压或大致大气压的小空间；装载部，其设置于所述小空间，在所述装载部安装有收纳被处理体的盒；和配置在所述小空间内的搬送装置，其中，所述搬送装置具有：多关节臂；安装在所述多关节臂的前端的拾取器；和设置于所述拾取器的映射传感器，所述小空间具有暂时退避部，在进行所述盒内的映射时，在设置有所述映射传感器的所述拾取器上存在所述被处理体时，该暂时退避部使该被处理体暂时退避。