发明名称 |
一种Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜的制备方法 |
摘要 |
本发明属于半导体与器件领域,具体涉及一种Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜的制备方法。本发明的技术方案是:称取Ni(CH3COO)2·4H2O,溶于乙二醇甲醚中,加入摩尔比为(3-15):1的RuCl3·3H2O和Al(NO3)3·9H2O得到Ru-Al共掺杂的镍溶胶,同时称取SnCl2·2H2O溶于无水乙醇中,得到锡溶胶,将Ru-Al共掺杂的镍溶胶与锡溶胶混合,在空气中静置陈化,对静置陈化后的Ru-Al共掺杂的镍锡复合溶胶用匀胶机进行旋涂镀膜,最后进行热处理,得到Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜。本发明是采用溶胶凝胶法制备Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜,沉积设备简单、成本低,易控制薄膜组分,而且作为半导体元件具有良好的可重复电阻开关特性和记忆特性。 |
申请公布号 |
CN102709473A |
申请公布日期 |
2012.10.03 |
申请号 |
CN201210204871.6 |
申请日期 |
2012.06.20 |
申请人 |
东北大学 |
发明人 |
李建昌;王博锋;曹青;李永宽;巴德纯 |
分类号 |
H01L45/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L45/00(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳东大专利代理有限公司 21109 |
代理人 |
李运萍 |
主权项 |
一种Ru‑Al共掺杂镍锡复合薄膜的制备方法,其特征在于按照以下步骤进行:(1)称取4.98‑ 9.95 g Ni(CH3COO)2·4H2O,溶于100 ‑200mL乙二醇甲醚中, 在60‑70 ℃的水浴条件下搅拌30‑40 min后, 加入摩尔比为(3‑15):1的RuCl3·3H2O和Al(NO3)3·9H2O继续搅拌60‑70min,得到Ru‑Al共掺杂的镍溶胶,同时称取4.51‑ 9.02g g SnCl2·2H2O,溶于50‑100 mL无水乙醇中,在60‑80 ℃的水浴条件下搅拌60‑70 min后,得到锡溶胶,量取体积比为6:1的Ru‑Al共掺杂的镍溶胶和锡溶胶将其混合, 在60‑80 ℃的水浴条件下继续搅拌30‑40 min,得到Ru‑Al共掺杂的镍锡复合溶胶,将其在空气中静置陈化24‑48h;(2)将基片依次在丙酮、无水乙醇和去离子水中超声波清洗10 ‑15min,再用无水乙醇冲洗,在加热平台上烘干;(3)对静置陈化后的Ru‑Al共掺杂的镍锡复合溶胶用匀胶机进行旋涂镀膜,向基片滴加溶胶,先以800‑900 r/min的转速旋转5‑10s,然后在3000 ‑3500r/min的转速下旋转30 s,将形成的湿膜置于加热平台上于120 ℃温度下加热烘干,重复上述涂膜过程两次;(4)以6 ℃ /min的升温速率,在400℃条件下于空气中对旋涂在基片上的Ru‑Al共掺杂镍锡复合薄膜热处理1‑2 h,得到热处理后的Ru‑Al共掺杂镍锡复合薄膜。 |
地址 |
110819 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号 |