微机械构件和微机械构件的制造方法

摘要

本发明涉及一种微机械构件，包括一外部定子电极组件(28)和一通过至少一个外弹簧(81)与支架(55)相连的外部执行器电极组件(24)，通过在外部执行器电极组件(24)和外部定子电极组件(28)之间施加第一电压可绕第一旋转轴线(12)调整一可调元件(10)；该微机械构件还包括一内部定子电极组件(30)和一内部执行器电极组件(26)，该内部执行器电极组件带有第一梁(50)，该梁上布置有至少一个电极指(26a，26b)，通过在内部执行器电极组件(26)的至少一个电极指(26a，26b)与内部定子电极组件(30)之间施加第二电压可绕第二旋转轴线(14)调整该可调元件(10)，所述内部执行器电极组件(26)通过沿第二旋转轴线(14)定向的中间弹簧(52)与外部执行器电极组件(24)相连。本发明还涉及一种微机械构件制造方法。

主权项

微机械构件，具有：一个支架(55)；一个可调元件(10)；一个外部定子电极组件(28)和一个外部执行器电极组件(24)，所述外部执行器电极组件(24)通过至少一个外弹簧(53，81，90，94，98，100)与支架(55)相连，所述可调元件(10)这样耦合到所述外部执行器电极组件(24)上，使得可通过在外部执行器电极组件(24)和外部定子电极组件(28)之间施加第一电压来绕第一旋转轴线(12)相对于所述支架(55)调整所述可调元件(10)；以及一个内部定子电极组件(30)和一个内部执行器电极组件(26)，所述内部执行器电极组件(26)包括带有至少一个电极指(26a，26b)的第一梁(50)，该第一梁(50)沿着不平行于第一旋转轴线(12)的第二旋转轴线(14)定向，该可调元件(10)这样耦合到所述内部执行器电极组件(26)上，使得可通过在所述内部执行器电极组件(26)的至少一个电极指(26a，26b)和所述内部定子电极组件(30)之间施加第二电压来绕第二旋转轴线(14)相对于所述支架(55)调整所述可调元件(10)；其特征在于，设置有一个沿着第二旋转轴线(14)定向的中间弹簧(52)，通过该中间弹簧将所述内部执行器电极组件(26)与所述外部执行器电极组件(24)相连。