一种晶棒运输清洗接片篮组及晶棒运输清洗接片篮

摘要

本实用新型公开了一种晶棒运输清洗接片篮，包括：用于套设于晶托外侧的框架，其一端具有可由该端推设至所述晶托外侧的开口；设置于所述框架另一端，限制所述晶托继续推入的后护栏；设置于所述框架底端的缓冲底板；设置于所述框架两侧的侧护栏。本实用新型在使用时套设于晶托外侧，再将晶棒送至清洗车间清洗。在清洗过程中，脱落的硅片掉落到接片篮底部的缓冲底板上，缓冲底板具有一定的缓冲作用，可以防止硅片掉落时发生崩边和碎片的现象，使得脱落的硅片可直接回收，提高了出片率和减少了现场硅料浪费，而且制作成本低，使用方便。本实用新型还公开了一种具有上述晶棒运输清洗接片篮的晶棒运输清洗接片篮组。

主权项

一种晶棒运输清洗接片篮，其特征在于，包括：用于套设于晶托外侧的框架(1)，其一端具有可由该端推设至所述晶托外侧的开口；设置于所述框架(1)另一端，限制所述晶托继续推入的后护栏(6)；设置于所述框架(1)底端的缓冲底板(2)；设置于所述框架(1)两侧的侧护栏(3)。