发明名称 |
一种多晶硅炉 |
摘要 |
一种多晶硅炉,属于加多晶硅炉技术领域,包括耐热钢、六钛酸钾晶须隔热砖、加热装置、Al2O3耐火砖、坩埚和钢板组成,多晶硅炉的炉身的外壳为钢板,在钢板内层贴有六钛酸钾晶须隔热砖层,在隔热砖层内层还有Al2O3耐火砖层,并将坩埚置于多晶硅炉Al2O3耐火砖层构成的空腔内,在坩埚和Al2O3耐火砖层之间的空间内放置加热装置,在多晶硅炉的上方还设置了一个取料盖,取料盖是将六钛酸钾晶须隔热砖镶嵌在耐热钢中,直接盖在节能多晶硅炉的炉身上。采用本发明多晶硅炉制备多晶硅,具有良好的节能效果。 |
申请公布号 |
CN102703976A |
申请公布日期 |
2012.10.03 |
申请号 |
CN201210169843.5 |
申请日期 |
2012.05.28 |
申请人 |
北京工业大学 |
发明人 |
符寒光;蒋志强;冯锡兰;刘建伟;魏永强 |
分类号 |
C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C22C38/54(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 |
代理人 |
张慧 |
主权项 |
一种多晶硅炉,其特征在于,包括耐热钢、六钛酸钾晶须隔热砖、加热装置、Al2O3耐火砖、坩埚和钢板组成,多晶硅炉的炉身的外壳为钢板,在钢板内层贴有六钛酸钾晶须隔热砖层,在隔热砖层内层还有Al2O3耐火砖层,并将坩埚置于多晶硅炉Al2O3耐火砖层构成的空腔内,在坩埚和Al2O3耐火砖层之间的空间内放置加热装置,在多晶硅炉的上方还设置了一个取料盖,取料盖是将六钛酸钾晶须隔热砖镶嵌在耐热钢中,直接盖在节能多晶硅炉的炉身上。 |
地址 |
100124 北京市朝阳区平乐园100号 |