发明名称 | 包括纳米线结构的方法和装置 | ||
摘要 | 本文提出了多种纳米线结构及其制造方法。本文的纳米线结构可以是周期性的或者非周期性的并且可具有对于特定的应用而优化结构性能的特性。 | ||
申请公布号 | CN102714137A | 申请公布日期 | 2012.10.03 |
申请号 | CN201080056428.8 | 申请日期 | 2010.10.15 |
申请人 | 康奈尔大学 | 发明人 | 阿米特·拉尔;卢曰瑞 |
分类号 | H01L21/02(2006.01)I;B32B1/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
代理机构 | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人 | 余朦;施蕾 |
主权项 | 一种装置,包括:多个纳米线柱;支撑所述多个纳米线柱的衬底;其中所述多个纳米线柱被布置为周期性阵列,所述周期性阵列是二维的周期性阵列;其中所述周期性阵列的特征包括柱与柱的节距小于大约800nm;其中所述周期性阵列进一步的特征包括柱高宽比大于大约5:1。 | ||
地址 | 美国纽约州 |