太阳电池结构及其制备方法

摘要

本发明涉及一种太阳电池结构及其制备方法,该电池结构包括硅片基材，在基材正面是覆盖有减反膜的前表面场，在基材的背面依次是本征氢化非晶硅层、p型氢化非晶硅层、TCO和Al背场，在前表面场上的正面电极的细栅线上也覆盖TCO。制备方法为先将基材制绒，然后进行扩散工艺，在基材正面形成前表面场，在前表面场的表面沉积减反膜，制作正面电极；在背面依次沉积本征氢化非晶硅和p型氢化非晶硅、TCO，最后蒸镀Al背场。本发明的有益效果是：1.用非晶硅薄膜钝化膜，避免了长时间的高温过程，并能拉宽带隙，使开路电压增大。2.在电池表面镀一层TCO薄膜，能够连接断栅，减小电池的串联电阻，并且起到保护金属电极防止氧化的作用。

主权项

一种太阳电池结构,包括硅片基材（1），在硅片基材（1）的正面是前表面场，前表面场上制作正面电极（3），其特征是：硅片基材（1）通过非晶硅薄膜钝化，在非晶硅薄膜上制作Al背场（7）。