一种硅片收纳装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片收纳装置，硅片收纳盒和硅片缓冲模块，所述硅片收纳盒底部设有与所述硅片缓冲模块大小相适应的开口，所述硅片缓冲模块活动设置于所述开口之间。本装置，能够防止工人在将硅片放入硅片收纳装置时由于重力作用使硅片与硅片收纳装置底部碰撞而把硅片撞裂。工人在将收纳盒装满后，可将收纳盒移走，这样，硅片缓冲模块留在原处，以备下一个收纳盒的使用，收纳盒内的硅片与收纳盒底部紧密接触，而且收纳盒底部为软性材料，避免了运输中的震荡对硅片造成二次损伤。

主权项

一种硅片收纳装置，其特征在于，包括硅片收纳盒和硅片缓冲模块，所述硅片收纳盒底部设有与所述硅片缓冲模块大小相适应的开口，所述硅片缓冲模块活动设置于所述开口之间。