气缸

摘要

本实用新型涉及机械结构技术领域，尤其是涉及气缸，本实用新型包括气缸本体，气缸本体包括上滤油装置和下滤油装置，上滤油装置与下滤油装置通过螺栓连接，上滤油装置包括上支撑连接块和与上支撑连接块配合连接的上滤油层，下滤油装置包括下支撑连接块和与下支撑连接块配合连接的下滤油层，下滤油层插设于下支撑连接块内，上支撑连接块与下支撑连接块均开设有排气孔，上滤油层与下滤油层分别罩设于排气孔上方，本实用新型通过在气缸本体设置两个滤油装置，且两个滤油装置均开设有排气孔，故可防止气缸放气打开腔体门的过程中，油滴可能会随着放出气体一同从气缸的排气孔中排出而溅落在晶圆上，避免对晶圆质量产生损坏。

主权项

气缸，包括气缸本体(1)，其特征在于：所述气缸本体(1)包括上滤油装置(2)和下滤油装置(3)，所述上滤油装置(2)与所述下滤油装置(3)通过螺栓(4)连接，所述上滤油装置(2)包括上支撑连接块(5)和与上支撑连接块(5)配合连接的上滤油层(6)，所述下滤油装置(3)包括下支撑连接块(7)和与下支撑连接块(7)配合连接的下滤油层(8)，所述下滤油层(8)插设于所述下支撑连接块(7)内，所述上支撑连接块(5)与下支撑连接块(7)均开设有排气孔，所述上滤油层(6)与所述下滤油层(8)分别罩设于所述排气孔上方。