高温真空单晶烧结炉控温装置

摘要

本实用新型涉及一种高温真空单晶烧结炉控温装置，属于控温装置。加热器与交直流转换装置电连接，交直流转换装置与变压器电连接，变压器与电流检测模块电连接，电流检测模块与控制电路、电源电连接，控制电路与温度控制器电连接，电流检测模块与报警装置电连接，温度控制器与加热器连接。本实用新型的优点在于：具有新颖性，用控温装置代替了钨铼热偶，控温装置与烧结炉的内加热装置结合为一体，通过温控仪表、控制电路、电流检测模块、交直流转换装置在前端就控制了温度，使工作温度准确稳定，降低了费用，提高了效率，更换简单，维修方便。

主权项

一种高温真空单晶烧结炉控温装置，其特征在于：加热器与交直流转换装置电连接，交直流转换装置与变压器电连接，变压器与电流检测模块电连接，电流检测模块与控制电路、电源电连接，控制电路与温度控制器电连接，电流检测模块与报警装置电连接，温度控制器与加热器连接。