发明名称 |
形成遮光隔壁用的碱显影型黑色感光性树脂组合物 |
摘要 |
本发明提供一种形成遮光隔壁用的碱显影型黑色感光性树脂组合物,其含有(A)含有羧基的感光性预聚物、(B)光聚合引发剂、(C)黑色颜料及(D)光透过性的微粒作为必须成分。通过使用该组合物,利用光刻法可以形成在显影时不会发生底切、且显示充分的遮光性的高度为20μm以上的遮光隔壁11。在优选的方案中,所述(C)黑色颜料可使用金属氧化物,优选使用氧化铁,另外,所述(D)微粒可使用折射率为1.40~1.90的无机微粒,优选使用二氧化硅。 |
申请公布号 |
CN101454721B |
申请公布日期 |
2012.10.03 |
申请号 |
CN200780019594.9 |
申请日期 |
2007.05.29 |
申请人 |
太阳控股株式会社 |
发明人 |
宫部英和;糸川弦;增子淳;根本浩之 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01)I;G02B5/00(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;李茂家 |
主权项 |
一种形成遮光隔壁用的碱显影型黑色感光性树脂组合物,其特征在于,该黑色感光性树脂组合物用于利用光刻法形成高20μm以上的遮光隔壁,其含有(A)含有羧基的感光性预聚物,(B)光聚合引发剂、作为黑色颜料的(C)氧化铁及(D)光透过性的二氧化硅微粒作为必须成分,其中,所述(C)氧化铁的平均粒径为20μm以下,所述(D)光透过性的二氧化硅微粒的平均粒径为20μm以下,所述(C)氧化铁的配合比例为组合物总体积的0.1~7vol.%。 |
地址 |
日本东京都 |