发明名称 形成遮光隔壁用的碱显影型黑色感光性树脂组合物
摘要 本发明提供一种形成遮光隔壁用的碱显影型黑色感光性树脂组合物,其含有(A)含有羧基的感光性预聚物、(B)光聚合引发剂、(C)黑色颜料及(D)光透过性的微粒作为必须成分。通过使用该组合物,利用光刻法可以形成在显影时不会发生底切、且显示充分的遮光性的高度为20μm以上的遮光隔壁11。在优选的方案中,所述(C)黑色颜料可使用金属氧化物,优选使用氧化铁,另外,所述(D)微粒可使用折射率为1.40~1.90的无机微粒,优选使用二氧化硅。
申请公布号 CN101454721B 申请公布日期 2012.10.03
申请号 CN200780019594.9 申请日期 2007.05.29
申请人 太阳控股株式会社 发明人 宫部英和;糸川弦;增子淳;根本浩之
分类号 G03F7/004(2006.01)I;G02B5/00(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I 主分类号 G03F7/004(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;李茂家
主权项 一种形成遮光隔壁用的碱显影型黑色感光性树脂组合物,其特征在于,该黑色感光性树脂组合物用于利用光刻法形成高20μm以上的遮光隔壁,其含有(A)含有羧基的感光性预聚物,(B)光聚合引发剂、作为黑色颜料的(C)氧化铁及(D)光透过性的二氧化硅微粒作为必须成分,其中,所述(C)氧化铁的平均粒径为20μm以下,所述(D)光透过性的二氧化硅微粒的平均粒径为20μm以下,所述(C)氧化铁的配合比例为组合物总体积的0.1~7vol.%。
地址 日本东京都
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