| 主权项 |
一种硅微电容式二维加速度传感器，其特征在于：包括基底（1）、固定支撑（2）、内惯性质量块（3）、左惯性质量块（4）、右惯性质量块（5）、固定齿枢（6）、固定梳齿（7）、可动梳齿（8）、“U”字形折叠梁（9）、矩形框折叠梁（10）和止挡（11）；所述基底（1）为矩形结构，在其四角处分别设有竖直向上的固定支撑（2），以矩形结构的基底（1）的左右为X轴方向，前后为Y轴方向；在左侧的两个固定支撑（2）之间和右侧的两个固定支撑（2）之间沿Y方向分别设有两个固定齿枢（6），在前侧的两个固定支撑（2）之间和后侧的两个固定支撑（2）之间沿X方向分别设有两个固定齿枢（6）；四个固定支撑（2）的顶部分别固定连接有“U”字形折叠梁（9）和矩形框折叠梁（10）；所述“U”字形折叠梁（9）沿Y轴方向布置、开口向内，“U”字形折叠梁（9）的一端连接在固定支撑（2）上，另一端连接在矩形结构的内惯性质量块（3）的角部，所述内惯性质量块（3）通过其四角上的“U”字形折叠梁（9）悬空连接在基底（1）的中部正上方；所述左惯性质量块（4）设置在内惯性质量块（3）与左侧的固定齿枢（6）之间，左惯性质量块（4）的两端分别与左侧的矩形框折叠梁（10）的一长边中部一体成型，矩形框折叠梁（10）的另一长边中部与对应侧的固定支撑（2）一体成型；所述右惯性质量块（5）设置在内惯性质量块（3）与右侧的固定齿枢（6）之间，右惯性质量块（5）的两端分别与右侧的矩形框折叠梁（10）的一长边中部一体成型，矩形框折叠梁（10）的另一长边中部与对应侧的固定支撑（2）一体成型；所述左惯性质量块（4）和右惯性质量块（5）分别通过其两端的矩形框折叠梁（10）悬空连接在基底（1）的正上方；所述左右两侧的固定齿枢（6）的内侧沿Y轴方向分别均布设有数个伸向内侧的固定梳齿（7），所述左惯性质量块（4）和右惯性质量块（5）的外侧沿Y轴方向均布设有数个伸向外侧的可动梳齿（8）；靠近左后侧和靠近右后侧的固定齿枢（6）上的固定梳齿（7）分别从一侧插入对应侧的可动梳齿（8）内，并与对应侧的可动梳齿（8）交叉分布构成电容器CAy，靠近左前侧和靠近右前侧的固定齿枢（6）上的固定梳齿（7）分别从另一侧插入对应侧的可动梳齿（8）内，并与对应侧的可动梳齿（8）交叉分布构成电容器CBy； 所述前后两侧的固定齿枢（6）的内侧沿X轴方向分别均布设有数个伸向内侧的固定梳齿（7），所述内惯性质量块（3）的前后两侧沿X轴方向分别均布设有数个伸向外侧的可动梳齿（8）；靠近后左侧和靠近前左侧的固定齿枢（6）上的固定梳齿（7）分别从一侧插入对应侧的可动梳齿（8）内，并与对应侧的可动梳齿（8）交叉分布构成电容器CBx；靠近后右侧和靠近前右侧的固定齿枢（6）上的固定梳齿（7）分别从另一侧插入对应侧的可动梳齿（8）内，并与对应侧的可动梳齿（8）交叉分布构成电容器CAx；所述内惯性质量块（3）的四角分别设有在X轴方向与固定支撑（2）对应的止挡（11），所述内惯性质量块（3）上的四个止挡（11）分别靠近对应侧的固定支撑（2），并与对应侧的固定支撑（2）之间的距离小于前后两侧的固定梳齿（7）与对应侧相邻可动梳齿（8）之间的最小距离；所述左惯性质量块（4）和右惯性质量块（5）的两端分别设有在Y轴方向与固定支撑（2）对应的止挡（11），所述左惯性质量块（4）和右惯性质量块（5）两端的止挡（11）分别靠近对应侧的固定支撑（2），并与对应侧的固定支撑（2）之间的距离小于左右两侧的固定梳齿（7）与对应侧相邻可动梳齿（8）之间的最小距离。 |
