发明名称 检查装置及检查方法暨检查装置用感测器
摘要 本发明提供检查装置,在检查对象为导体之情况时,可以以非接触和良好之精确度检测该检查对象之状态。;设有感测器板组其构成包含有:纵向较长形状之供给感测器板20,定位在离开被施加有交流检查信号之成为检查对象导体之导体图案15指定距离之位置,用来供给检查信号;和纵向较短形状之检测感测器板30,可以被定位在接近导体图案15之检查信号检测部位,用来检测导体图案15之检查信号;将多组之感测器板组定位在使感测器板位置成为交替(交错)之位置,对于该导体图案15,可以在各组之感测器板组上进行检查。
申请公布号 TWI373622 申请公布日期 2012.10.01
申请号 TW095102037 申请日期 2006.01.19
申请人 OHT股份有限公司 发明人 羽森宽;山冈秀嗣;石冈圣悟
分类号 G01R31/02 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项 一种检查装置用感测器,系使用在能以非接触检查被施加交流检查信号之检查对象导电体状态之检查装置者,其特征在于具备有:第1感测器板组,其构成包含有:供电感测器板,可以定位成接近检查对象导体之信号供给部位,用来对上述检查对象导体供给交流检查信号;和检测感测器板,可以定位成接近被上述供电感测器板供给有检查信号之上述检查对象导体之检查信号检测部位,用来检测上述检查对象导体之检查信号;第2感测器板组,可以依照上述第1感测器板组之供电感测器板之定位位置,定位和配置第2感测器板组之检测感测器板之同时,依照上述第1感测器板组之检测感测器板之定位位置,定位和配置第2感测器板组之供电感测器板;使上述第1或第2感测器板组之上述供电感测器板和上述检测感测器板之任一方,成为与上述检查对象导体之面对面积形成纵向较长之感测器板之同时,使另外一方成为与上述检查对象导体之面对面积形成纵向较短之感测器板。如申请专利范围第1项之检查装置用感测器,其中,使上述第1及第2感测器板组各自之上述供电感测器板成为纵向较长之棒状感测器板之同时,使上述第1及第2感测器板组各自之上述检测感测器板成为纵向较短之棒状感测器板。一种检查装置,可以以非接触检查被施加交流检查信号之检查对象导电体之状态,其特征在于具备有:第1感测器板组,其构成包含有:供电感测器板,可以定位成接近检查对象导体之信号供给部位,用来对上述检查对象导体供给交流检查信号;和检测感测器板,可以定位成接近被上述供电感测器板供给有检查信号之上述检查对象导体之检查信号检测部位,用来检测上述检查对象导体之检查信号;第2感测器板组,可以依照上述第1感测器板组之供电感测器板之定位位置,定位和配置第2感测器板组之检测感测器板之同时,依照上述第1感测器板组之检测感测器板之定位位置,可定位和配置第2感测器板组之供电感测器板;检查信号供给手段,可以对上述第1和第2感测器板组之供电感测器板供给检查信号;和检测手段,接受来自上述第1或第2感测器板组之检测感测器板之检查信号,可以用来检查上述检查对象导体之状态;使上述第1或第2感测器板组之上述供电感测器板和上述检测感测器板之任一方,成为与上述检查对象导体之面对面积形成纵向较长之感测器板之同时,使另外一方成为与上述检查对象导体之面对面积形成纵向较短之感测器板。如申请专利范围第3项之检查装置,其中,使上述第1及第2感测器板组各自之上述供电感测器板成为纵向较长之棒状感测器板之同时,使上述第1及第2感测器板组各自之上述检测感测器板成为纵向较短之棒状感测器板。如申请专利范围第3或4项之检查装置,其中,在利用上述第1感测器板组和上述第2感测器板组之一方之感测器板组进行检查之后,利用另外一方之感测器板组进行检查。如申请专利范围第3或4项之检查装置,其中,在利用上述第1感测器板组和上述第2感测器板组之一方之感测器板组进行检查,同时利用另外一方之感测器板组进行检查。如申请专利范围第3或4项之检查装置,其中,具备有:供给手段,用来对每一个感测器板组供给不同频率之交流检查信号;检查信号检测手段,只检测对各个感测器板组供电之检查信号;和检查手段,依照上述检查信号检测手段之检测结果是否与正常时之检测结果不同,可以判别检查对象是否良好。如申请专利范围第7项之检查装置,其中,交流检查信号在0.5 MHz至1.2 MHz之范围使用至少相差0.1 MHz以上之频率之检查信号。如申请专利范围第7项之检查装置,其中,上述检查信号检测手段具备有调谐电路,用来调谐在供给到成对之供电感测器板之检查信号频率,构建成可以只检测上述调谐电路之调谐频率。如申请专利范围第9项之检查装置,其中,上述调谐电路由LC共振电路构成。一种检查装置,可以以非接触检查被施加有交流检查信号之检查对象导电体之状态,其特征在于具备有:数组之感测器板组,其构成包含有:供电感测器板,可以定位成接近检查对象导体之信号供给部位,用来对上述检查对象导体供给交流检查信号;和检测感测器板,可以定位成接近被上述供电感测器板供给有检查信号之上述检查对象导体之检查信号检测部位,用来检测上述检查对象导体之检查信号;供给手段,用来对每一感测器板组供给不同频率之交流检查信号;检查信号检测手段,只检测对每一感测器板组供电之检查信号;和检查手段,依照上述检查信号检测手段之检测结果是否与正常时之检测结果不同,可以用来判定检查对象是否良好。如申请专利范围第3、4及11项中任一项之检查装置,其中,上述检查对象之检查是使正常之检查对象之检测结果和测定到之检测结果进行比较,当测定到之检测结果对正常之检查对象之检测结果成为在指定范围之情况时,判断为正常。一种检查方法,系于申请专利范围第3或4项之检查装置中之检查方法,其特征在于:将供电感测器板定位成接近检查对象导体之信号供给部位;将检测感测器板定位成接近该检查对象导体之检查信号检测部位;接着,对上述被定位之上述供电感测器板供给交流检查信号;输入由上述检测感测器板所检测之由上述供电感测器板供给检查信号之上述检查对象导体之检查信号;使成为基准之来自正常之检查对象导体之检测信号资讯,和检测到之检查信号进行比较,用来检测上述检查对象导体之状态;然后,将检测感测器板定位成接近上述检查对象导体之先前检查过之信号供给部位端部;将供电感测器板定位成接近该检查对象导体先前检查过之检查信号检测部位端部;再来,对上述被定位之上述供电感测器板供给交流检查信号;输入由上述检测感测器板检测之由上述供电感测器供给检查信号之上述检查对象导体之检查信号;使成为基准之来自正常检查对象导体之检测信号资讯,和检测到之检查信号进行比较,用来检测上述检查对象导体之状态;和由先前之检查结果和上述检查结果之双方检查结果,用来检查该检查对象导体是否良好。如申请专利范围第13项之检查方法,其中,对于该检查对象导体,最初利用第1感测器板组进行检查,然后利用第2感测器板组进行检查;依照各个之检查结果用来判断检查对象导体是否良好。如申请专利范围第13项之检查方法,其中对于该检查对象导体,利用第1感测器板组进行检查,同时利用第2感测器板组进行检查;依照各个之检查结果用来判断检查对象导体是否良好。一种检查方法,系可以以非接触检查被施加有交流检查信号之检查对象导体之状态之检查装置的检查方法,该检查装置具备有数组之感测器板组,其构成包含有:供电感测器板,可以定位成接近检查对象导体之信号供给部位,用来对上述检查对象导体供给交流检查信号;和检测感测器板,可以定位成接近被上述供电感测器板供给有检查信号之上述检查对象导体之检查信号检测部位,用来检测上述检查对象导体之检查信号;其特征在于:对各个感测器板组之各个供电感测器板供给不同频率之交流检查信号;以调谐电路之调谐频率作为供给到该检测感测器板之检查对象导体之检查信号频率,只抽出该检查信号频率之信号,该调谐电路连接到用来检测各个供电感测器板供给之检查信号之检测感测器板之检测信号输出;和依照上述检查信号之检测结果与正常时之检测结果是否有不同,可以判别检查对象是否良好。如申请专利范围第16项之检查方法,其中,交流检查信号在0.5 MHz至1.2 MHz之范围使用至少相差0.1 MHz以上之频率之检查信号。如申请专利范围第13或16项之检查方法,其中,上述检查对象之检查是使正常之检查对象之检测结果和测定到之检测结果进行比较,当检测结果对正常之检查对象之检测结果成为在指定范围之情况时,判断为正常。
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