利用随选自动化光学检测副系统改善薄膜电晶体液晶显示器面板检测之方法及系统

摘要

在用于TFT-LCD面板之电性与电光学检测的一检测系统中，具有一脉冲照明源之一微解析度区域显像相机，系用以扫描地区并捕捉该地区影像，其中该地区影像系被短照明脉冲所照明且当连续地扫描时能被自动地维持聚焦以解析缺陷点。

主权项

一种在用以检测平面电子物品之缺陷检测系统中检测该物品之方法，其中该缺陷检测系统仅能够辨识出包括有该检测物品上一异常地区的缺陷，且该系统包含一具有足够解析度的一光学显像频道以执行一随选自动化光学检测(an automated optical inspection-on-demand)，该方法至少包含以下步骤：执行一第一测试，以决定是否存在有一缺陷且该缺陷是否能被解析成一点；若不能，则在扫描该区域以将该区域解析成为至少一缺陷点的同时，在藉由以至少一光脉冲之短时间照明而由光学显像频道光学装置捕捉该地区之区域影像以执行该地区之一微解析度光学再检视时，执行该随选自动化光学检测。如申请专利范围第1项所述之方法，其中该至少一光脉冲为一系列脉冲，用以照明该地区中的复数个影像。如申请专利范围第1项所述之方法，该方法更包含当扫描时连续地自动对焦于所检测物品，藉以维持该物品之每一影像均为聚焦。如申请专利范围第2项所述之方法，其中复数个缺陷点系解析自该地区之复数个影像。如申请专利范围第2项所述之方法，其中对于每秒30mm之一连续扫描速度而言，该照明之脉冲具有一小于8微秒之持续时间。一种在用以检测平面电子物品之光学缺陷检测/修复系统中用以检测该物品之设备，其中该缺陷检测系统仅能够辨识出包括有所检测该物品上一异常地区的缺陷，该系统并包含一具有足够解析度的光学显像频道用以执行一随选自动化光学检测，该设备至少包含：一测试器，用以判定是否存在有一缺陷与该缺陷是否能被解析成一点；一随选自动化光学检测次系统，其系可操作以指派检测光学装置至具有该缺陷的一地区，以捕捉并储存具有该缺陷的该地区之影像资料以找出至少一缺陷点，该次系统包括具有一脉冲照明源的一微解析度区域显像相机，其系设置来扫描该地区并当扫描该地区寻找缺陷时，操作来捕捉被短持续时间的能量脉冲照明之区域影像。如申请专利范围第6项所述之系统中，其中该能量脉冲为一系列脉冲，用以照明该地区中的复数个影像。如申请专利范围第6项所述之系统中，其中该次系统更包含硬体自动对焦机构，用以当扫描时系连续地对焦于所检测物品。如申请专利范围第7项所述之系统中，该系统更包含用以捕捉复数个画格之复数个画格缓冲器，与用以将所选择画格自该地区复数个影像解析成复数个缺陷点之一缺陷侦测器。如申请专利范围第7项所述之系统中，其中对于每秒30mm之一连续扫描速度而言，该照明之脉冲具有一小于8微秒之持续时间。一种在用于检测与修复平面电子物品之缺陷检测/修复系统中用以检测该物品之设备，其中该缺陷检测系统仅能够辨识出包括有所检测该物品上一异常地区的缺陷，且包含一具有足够解析度的光学显像频道用以执行一随选自动化光学检测，该设备至少包含：一测试器，用以判定是否存在有一缺陷与该缺陷是否能被解析成一点；一随选自动化光学检测次系统，其系可操作以指派该检测光学装置至具有该缺陷的地区，以捕捉并储存具有该缺陷的该地区之影像资料以找出一缺陷点，该次系统包括具有一脉冲照明源的一微解析度区域显像相机，其系设置来扫描该地区，并当扫描该地区寻找缺陷时，操作来捕捉被短持续时间的能量脉冲照明之区域影像，以及一硬体自动对焦感应器与控制器以当扫描时将该物品维持在恒定焦点。