模造玻璃模仁

摘要

一种模造玻璃模仁，包含一本体，以及披覆于本体上之披覆膜。披覆膜可为包含钛-矽薄膜层、钛-矽-氮薄膜层以及钛-铝-矽-氮薄膜层等三层薄膜层之结构，亦可为包含钛-矽薄膜层、钛-矽-氮薄膜层、钛-铝-矽-氮薄膜层以及镍-铝薄膜层等四层薄膜层之结构。藉由多层薄膜层的结构，可增加各个薄膜层彼此间的附着力，亦可避免本体的成分扩散到模造玻璃模仁之表面，而影响所模造之玻璃之品质。藉此披覆膜，使模造玻璃模仁能兼具离模性佳、高硬度、低粗糙、抗磨耗、耐高温氧化以及低成本等诸多优点。

主权项

一种模造玻璃模仁，包含：一本体；以及一披覆膜，其披覆于该本体上，包含：一钛-矽(Ti-Si)薄膜层，其系披覆该本体上；一钛-矽-氮(Ti-Si-N)薄膜层，其系披覆该钛-矽(Ti-Si)薄膜层上；及一钛-铝-矽-氮(Ti-Al-Si-N)薄膜层，其系披覆该钛-矽-氮(Ti-Si-N)薄膜层上。如请求项1所述之模造玻璃模仁，其中该钛-矽(Ti-Si)薄膜层之厚度为50奈米至200奈米。如请求项1所述之模造玻璃模仁，其中该钛-矽-氮(Ti-Si-N)薄膜层之厚度为200奈米至500奈米。如请求项1所述之模造玻璃模仁，其中该钛-铝-矽-氮(Ti-Al-Si-N)薄膜层之厚度为200奈米至500奈米。如请求项1所述之模造玻璃模仁，其中该披覆膜系以非平衡磁控溅射方法，使其披覆于该本体上。一种模造玻璃模仁，包含：一本体；以及一披覆膜，其披覆于该本体上，包含：一钛-矽(Ti-Si)薄膜层，其系披覆该本体上；一钛-矽-氮(Ti-Si-N)薄膜层，其系披覆该钛-矽(Ti-Si)薄膜层上；一钛-铝-矽-氮(Ti-Al-Si-N)薄膜层，其系披覆该钛-矽-氮(Ti-Si-N)薄膜层上；及一镍-铝(Ni-Al)薄膜层，其系披覆该钛-铝-矽-氮(Ti-Al-Si-N)薄膜层上。如请求项6所述之模造玻璃模仁，其中该钛-矽(Ti-Si)薄膜层之厚度为50奈米至200奈米。如请求项6所述之模造玻璃模仁，其中该钛-矽-氮(Ti-Si-N)薄膜层之厚度为200奈米至500奈米。如请求项6所述之模造玻璃模仁，其中该钛-铝-矽-氮(Ti-Al-Si-N)薄膜层之厚度为200奈米至500奈米。如请求项6所述之模造玻璃模仁，其中该镍-铝(Ni-Al)薄膜层之厚度为50奈米至200奈米。如请求项6所述之模造玻璃模仁，其中该披覆膜系以非平衡磁控溅射方法，使其披覆于该本体上。