接合优劣判定方法及接合优劣判定装置、以及接合装置

摘要

于接合装置之接合优劣判定方法，其目的在于：能在接合途中判定接合之优劣。;接合装置之接合优劣判定装置，具备：超音波放大器，系与超音波振动件之振动共振且纵振动于中心轴之方向；毛细管，安装于超音波放大器之振动腹部；凸缘，设置于超音波放大器之振动节部；接合臂；及负载感测器，从超音波放大器之长边方向之中心轴相对于接合对象而与接近/离开方向偏置以安装于接合臂之旋转中心与凸缘安装面之间；接合时藉由负载感测器连续地检测施加于接合工具之接合对象之接近/离开方向的负载，以检测出之负载最大值为冲击负载，根据冲击负载进行接合优劣判定。

主权项

一种接合优劣判定方法，系接合装置之接合优劣判定方法，该接合装置，具备：基体部；超音波放大器，系与超音波振动件之振动共振且纵振动于长边方向；接合工具，安装于超音波放大器之振动腹部；凸缘，设置于超音波放大器之振动节部；接合臂，包含固定超音波放大器之凸缘之凸缘安装面，且以可旋转的方式安装于基体部，以使接合工具前端对接合对象动作于接近/离开方向；及负载感测器，从超音波放大器之长边方向之中心轴相对于接合对象而与接近/离开方向偏置以安装于接合臂之旋转中心与凸缘安装面之间；其特征在于：接合时藉由负载感测器连续地检测施加于接合工具之接合对象之接近/离开方向的负载，以检测出之负载最大值为冲击负载，根据冲击负载进行接合优劣判定。如申请专利范围第1项之接合优劣判定方法，其系于冲击负载大于既定阈值时判定为接合不良。如申请专利范围第1项之接合优劣判定方法，其系藉由阻断存在于超音波放大器固有之共振频率之频带讯号、且使较超音波振动件之共振频率低之频带讯号通过的滤波器，从负载感测器检测出之负载讯号，取出不含超音波放大器固有之共振频率之频带讯号之较超音波振动件之共振频率低之频带讯号，根据取出之讯号进行接合优劣判定。如申请专利范围第3项之接合优劣判定方法，其系于接合工具接地后，当负载感测器检测出之负载讯号对时间之增大比例大于阈值时，判定为球异常压溃。一种接合优劣判定装置，系用于接合装置之接合优劣判定装置，该接合装置，具备：基体部；超音波放大器，系与超音波振动件之振动共振且纵振动于长边方向；接合工具，安装于超音波放大器之振动腹部；凸缘，设置于超音波放大器之振动节部；接合臂，包含固定超音波放大器之凸缘之凸缘安装面，且以可旋转的方式安装于基体部，以使接合工具前端对接合对象动作于接近/离开方向；及负载感测器，从超音波放大器之长边方向之中心轴相对于接合对象而与接近/离开方向偏置以安装于接合臂之旋转中心与凸缘安装面之间；其特征在于：藉由阻断存在于超音波放大器固有之共振频率之频带讯号、且使较超音波振动件之共振频率低之频带讯号通过的滤波器，从负载感测器检测出之负载讯号，取出不含超音波放大器固有之共振频率之频带讯号之较超音波振动件之共振频率低之频带讯号，以检测出之负载最大值为冲击负载，根据冲击负载之大小进行接合优劣判定。一种接合装置，具备：基体部；超音波放大器，系与超音波振动件之振动共振且纵振动于长边方向；接合工具，安装于超音波放大器之振动腹部；凸缘，设置于超音波放大器之振动节部；接合臂，包含固定超音波放大器之凸缘之凸缘安装面，且以可旋转的方式安装于基体部，以使接合工具前端对接合对象动作于接近/离开方向；负载感测器，从超音波放大器之长边方向之中心轴相对于接合对象而与接近/离开方向偏置以安装于接合臂之旋转中心与凸缘安装面之间；及控制部，进行接合优劣判定；其特征在于：控制部，具有：滤波手段，用以阻断存在于超音波放大器固有之共振频率之频带讯号、且使较超音波振动件之共振频率低之频带讯号通过；讯号取出手段，接合时藉由负载感测器连续地检测施加于接合工具之接合对象之接近/离开方向的负载讯号，藉由滤波手段从负载讯号取出不含超音波放大器固有之共振频率之频带讯号之较超音波振动件之共振频率低之频带讯号；及判定手段，以藉由讯号取出手段取出之讯号最大值为冲击负载，根据冲击负载之大小进行接合优劣判定。