再生装置及再生方法

摘要

本发明于洗净等处理中，可与使用洗净液之同时，再生一旦使用过之洗净液，作为再生洗净液而再度使用。本发明提供一种液体再生装置，其系具备：回收机构，其将使用洗净液之处理装置的已使用洗净液加以回收；再生机构，其将经回收之已使用洗净液再生成为再生洗净液；供给机构，其将前述再生洗净液供给至前述处理装置；及控制机构，其控制前述回收机构、前述再生机构及前述供给机构。为了使前述处理装置与前述再生机构可同时运转，可在此等之间具备供给已使用洗净液及前述再生洗净液的连结机构。

主权项

一种液体再生装置，其系从处理装置将洗净被处理构件之已使用洗净液(以下称为「使用洗净液」)加以回收并进行再生，并将再生之洗净液(以下称为「再生洗净液」)再度供给至处理装置，且包含第一及第二单元，其系进行前述使用洗净液之回收及再生，以及再生洗净液之供给，各个单元包含：回收机构，其系连接于前述处理装置而设置，并回收前述使用洗净液；再生机构，其系连接于前述回收机构而设置，并收容由该回收机构所回收之前述使用洗净液且加以再生；贮存机构，其系连接于前述再生机构而设置，并贮存由该再生机构所再生之再生洗净液；及供给机构，其系连接于前述贮存机构及前述处理装置而设置，并将前述再生洗净液供给至前述处理装置；且于前述第一单元回收前述使用洗净液时，前述第二单元可再生预先回收之使用洗净液。如请求项1之液体再生装置，其中在前述第一及前述第二单元中，进一步包含控制机构，其系控制前述回收机构、前述再生机构、前述贮存机构及前述供给机构。如请求项2之液体再生装置，其中在前述第一及前述第二单元中，前述再生机构包含：再生槽，其系贮存经回收之前述使用洗净液；及加热器，其系设于该再生槽且可加热前述使用洗净液。如请求项3之液体再生装置，其中在前述第一及前述第二单元中，进一步包含排气机构，其系连接于前述再生槽之上部且用于排气、减压。如请求项2至4中任一项之液体再生装置，其中在前述第一及前述第二单元中，前述再生机构及/或前述供给机构包含检测机构，其系可检测贮存液量。如请求项5之液体再生装置，其中前述控制机构依据由前述第一及前述第二单元之前述检测机构所检测出的前述使用洗净液及/或前述再生洗净液之量，控制前述回收机构、前述再生机构及前述供给机构。如请求项3或4之液体再生装置，其中在前述第一及前述第二单元中，进一步包含废弃机构，其系连接于前述再生槽底部，抽出前述使用洗净液之再生后残渣且加以废弃。如请求项1之液体再生装置，其中在前述第一及前述第二单元中，前述再生机构包含冷却机构，其系冷却前述使用洗净液之蒸馏部分而使之液化，作为前述再生洗净液。如请求项8之液体再生装置，其中进一步包含冷却水供给机构，其系供给冷却水至前述第一及前述第二单元之前述冷却机构。一种洗净液再生方法，其特征为：其系从处理装置将洗净被处理构件之使用洗净液加以回收并进行再生，并将再生洗净液再度供给至处理装置，且藉由将进行前述使用洗净液之回收及再生，以及前述再生洗净液之供给的复数洗净液再生处理流程加以组合，连续地将前述使用洗净液加以回收并进行再生，并将前述再生洗净液再度供给至处理装置。如请求项10之洗净液再生方法，其中前述复数洗净液再生处理流程至少包含：第一流程，其系包含前述使用洗净液之回收步骤、再生步骤及前述再生洗净液之供给步骤；第二流程，其系与前述第一流程同步，并包含：前述使用洗净液之再生步骤、前述再生洗净液之供给步骤及前述使用洗净液之回收步骤；及第三流程，其系与前述第一流程同步，并包含：前述再生洗净液之供给步骤、前述使用洗净液之回收步骤及再生步骤。如请求项11之洗净液再生方法，其中控制前述第一、第二及第三流程之各步骤使其对象步骤前后之步骤可与对应其他流程中之前述对象步骤的对应步骤前后之步骤重叠。一种液体再生系统，其系包含：处理装置，其系以洗净液洗净被处理构件；及液体再生装置，其系将来自该处理装置之使用洗净液加以回收并进行再生；且使前述使用洗净液及再生洗净液在该处理装置及该液体再生装置之间连续性循环，且前述液体再生装置包含进行前述使用洗净液之回收及再生，以及再生洗净液之供给的第一及第二单元，各个单元包含：回收机构，其系连接于前述处理装置而设置，并回收前述使用洗净液；再生机构，其系连接于前述回收机构而设置，并收容由该回收机构所回收之前述使用洗净液且加以再生；贮存机构，其系连接于前述再生机构而设置，并贮存由该再生机构所再生之再生洗净液；及供给机构，其系连接于前述贮存机构及前述处理装置而设置，并将前述再生洗净液供给至前述处理装置；且于前述第一单元回收前述使用洗净液时，前述第二单元可再生预先回收之使用洗净液。如请求项13之液体再生系统，其中进一步包含同样构成之第三及第四单元。如请求项13或14之液体再生系统，其中进一步包含控制前述处理装置及前述液体再生装置的控制机构，该控制机构在前述处理装置与前述液体再生装置之间相互进行通讯，并控制液体再生装置各单元之前述回收步骤、前述再生步骤及前述供给步骤。