真空排气系统

摘要

本发明提供一种真空排气系统，可在制程状态以最佳状态运转，以提高真空排气系统之效率。;真空排气系统10系具备：真空泵20、30、及设置在真空排气系统10中的真空区域之压力感测器50。真空泵20、30系具备：用以移送气体的一对转子、用以使一对转子旋转的电动机、用以使一对转子同步的时序齿轮、及用以控制电动机旋转速度的驱动器26、36。真空排气系统10复具备控制部60，系根据压力感测器50所检测出的压力，藉由真空泵20、30的驱动器26、36控制转子的旋转速度。

主权项

一种真空排气系统，其特征为具备：至少一个真空泵，具备有用以移送气体的一对转子、用以使前述一对转子旋转的电动机、及用以使前述一对转子同步的时序齿轮；压力感测器，设置在前述真空排气系统中的真空区域；冷却水系统，用以将冷却水供给到前述至少一个真空泵；及控制部，根据由前述压力感测器所检测出的压力，控制流通在前述冷却水系统的冷却水流量。如申请专利范围第1项之真空排气系统，其中，前述控制部系在由前述压力感测器所检测出的压力大于预定值时，增加流通在前述冷却水系统的冷却水流量。如申请专利范围第1项之真空排气系统，其中，又包含前段真空泵和设置于该前段真空泵之后段之后段真空泵的两个前述真空泵，且前述冷却水系统系以对前述前段真空泵及前述后段真空泵供给冷却水的方式构成。如申请专利范围第3项之真空排气系统，其中，前述冷却水系统系以对前述前段真空泵供给流动于前述后段真空泵内之冷却水的方式构成。如申请专利范围第3项之真空排气系统，其中，在前述后段真空泵之转子最终段部设置有温度感测器。如申请专利范围第5项之真空排气系统，其中，在前述冷却水系统之前述转子最终段部的上游侧设置有三通阀，该三通阀连接有将冷却水迂回于该转子最终段部之旁通管。一种真空排气系统，其特征为具备：至少一个真空泵，具备有用以移送气体的一对转子、用以使前述一对转子旋转的电动机、及用以使前述一对转子同步的时序齿轮；压力感测器，设置在前述真空排气系统中的真空区域；气体系统，用以将轴密封气体供给到前述至少一个真空泵；及控制部，根据由前述压力感测器所检测出的压力，控制流通在前述气体系统的轴密封气体流量。如申请专利范围第7项之真空排气系统，其中，前述控制部系在由前述压力感测器所检测出的压力大于预定值时，增加流通在前述气体系统的轴密封气体流量。如申请专利范围第7项之真空排气系统，其中，又包含前段真空泵和设置于该前段真空泵之后段之后段真空泵的两个前述真空泵，且前述气体系统具有通常线和增量线，且以对前述前段真空泵及前述后段真空泵供给轴密封气体的方式构成。如申请专利范围第9项之真空排气系统，其中，前述控制部系藉由控制前述增量线之流量而个别地控制对前述前段真空泵及前述后段真空泵供给之轴密封气体的流量。如申请专利范围第9项之真空排气系统，其中，前述增量线系以对前述前段真空泵供给之轴密封气体的流量比对前述后段真空泵供给之轴密封气体的流量还少的方式构成。如申请专利范围第9项之真空排气系统，其中，前述增量线仅连接于前述前段真空泵之低压侧及高压侧、以及前述后段真空泵之低压侧。如申请专利范围第9项之真空排气系统，其中，前述控制部在由前述压力感测器所检测出的压力大于预定值时，开启设置于前述增量线的开闭阀。如申请专利范围第9项之真空排气系统，其中，前述压力感测器设置于连接管，该连接管连接前述前段真空泵与前述后段真空泵。一种真空排气系统，其特征为具备：至少一个真空泵，具备有用以移送气体的一对转子、用以使前述一对转子旋转的电动机、及用以使前述一对转子同步的时序齿轮；冷却水系统，用以将冷却水供给到前述至少一个真空泵；及控制部，根据表示连接有前述至少一个真空泵的真空处理室中之制程状态的信号，控制流通在前述冷却水系统的冷却水流量。一种真空排气系统，其特征为具备：至少一个真空泵，具备有用以移送气体的一对转子、用以使前述一对转子旋转的电动机、及用以使前述一对转子同步的时序齿轮；气体系统，用以将轴密封气体供给到前述至少一个真空泵；及控制部，根据表示连接有前述至少一个真空泵的真空处理室中之制程状态的信号，控制流通在前述气体系统的轴密封气体流量。