| 发明名称 |
PROCEDE DE DECOMPOSITION DE LIGNES D'UN CIRCUIT ELECTRONIQUE |
| 摘要 |
<p>L'invention concerne un procédé de définition de lignes parallèles s'étendant selon une première direction dans un même niveau d'un circuit intégré, parmi lesquelles au moins des première et deuxième lignes (62) séparées d'un nombre pair de lignes sont interconnectées, un espace (70) de largeur au moins égale à l'espace minimum entre deux lignes séparées d'une ligne étant laissé libre, dans une deuxième direction perpendiculaire à la première direction, de part et d'autre d'un rectangle minimum (66) dans lequel s'inscrivent la première et la deuxième lignes.</p> |
| 申请公布号 |
FR2973156(A1) |
申请公布日期 |
2012.09.28 |
| 申请号 |
FR20110052463 |
申请日期 |
2011.03.24 |
| 申请人 |
STMICROELECTRONICS (CROLLES 2) SAS |
发明人 |
FARYS VINCENT;SERRET EMMANUELLE |
| 分类号 |
H01L21/033;H01L21/768;H01L23/522;H01P11/00 |
主分类号 |
H01L21/033 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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