| 摘要 |
Неохлаждаемый микроболометрический приемник излучения, содержащий матрицу с изолированными друг от друга пикселями, каждый из которых включает слой первого уровня из полупроводникового кристалла с интегральной схемой считывания и контактами, термоизолирующий слой второго уровня, выполненный в виде ломаных линий, расположенных вдоль двух противоположных сторон пикселя, состоящих из диэлектрического материала, снабженного отражающим покрытием, внутри которого размещен проводящий металл, при этом контактные выходы проводящего металла первой ломаной линии соединены с первым контактом первого уровня, второй - со вторым контактом первого уровня, а контактные входы проводящих металлов первой и второй ломаных линий - с соответствующими контактами абсорбирующего термочувствительного слоя третьего уровня, отличающийся тем, что в нем ломаные линии слоя второго уровня выполнены в виде меандров, так что величина их амплитуд составляет менее 2/5 ширины размера пикселя, дополнительно введенный шунтирующий элемент установлен между контактными входами меандров с обеспечением их термического объединения и электрической развязки со слоем третьего уровня, который снабжен дополнительным абсорбирующим металлическим покрытием в виде тонкой пленки. |
